摘要：对MEMS中并联或串联组合而成的两种折叠梁形式的总刚度进行了分析，分析了两种梁在总刚度相同的条件下对加工误差的灵敏度，指出在加工误差不可避免的情况下，选择合适的折叠梁结构来满足具体的运用要求。得出：除发生误差的情况之外，折叠梁对误差的灵敏度比单梁小得多。运用CoventorWave软件对梁结构在随机相对误差下进行了有限元仿真分析，验证了理论分析的正确性。

关键词：折叠梁 误差 相对误差 灵敏度 微结构 

单位：西南交通大学机械工程学院 四川成都610031 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳621900