首页 > 期刊 > 机械设计 > 一种MEMS电容式压力传感器的模糊稳健设计 【正文】
摘要:通过对微电容式压力传感器的结构和工作原理进行分析,建立基于模糊模型法的数学模型,开发相应的算法程序,对微电容式压力传感器进行稳健设计。对结果分析表明,稳健设计结果对噪声因素的误差是不敏感的。
关键词:模糊模型 稳健设计 微传感器
单位:北方工业大学机械与材料工程学院; 北京100144
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