摘要：以垂直金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器沉积GaN为对象,建立了反应器内部数学模型.模型中包括了流动、传热和传质方程.通过应用非结构化网格划分复杂模型,在此基础上,计算了反应器中流场和温度场的分布.计算结果对于分析轴向对称立式MOCVD反应器中热量和动量输运现象均有普遍指导意义,为优化设计MOCVD反应器提供了理论依据.

关键词：mocvd反应器 传质 传热 流动 立式 

单位：江苏大学能源与动力工程学院; 江苏; 镇江; 212013