摘要：为提高悬臂梁的分辨率，实现悬臂梁的多功能性，设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁。从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析，优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸，选用多晶硅为力敏材料，基于硅微机械加工技术，制备U形阵列式悬臂梁，测量悬臂粱的噪声及灵敏度，得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和应变灵敏度系数，分别为3×10^-3和27，在6V偏压和1000Hz测量带宽条件下，计算悬臂梁的最小可探测位移为0．5nm。同时对多晶硅力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨。

关键词：悬臂梁 分辨率 灵敏度 噪声 最小可探测位移 

单位：北京大学微电子学研究所，北京100871