摘要：采用一种新的实验测量方案，将金属加热单元与温度探测单元合二为一，间接获得了在半导体和徽电子学MEMS领域内有重要用途的SiN，薄膜的导热系数、发射率、比热容和热扩散系数，并对实验结果进行了不确定度分析，为微电子电路设计和掩模成型工艺等提供了可靠的热物性数据，实验结果表明，薄膜的导热系数、发射率、热扩散系数远比相应体材质低，而且还与温度、厚度有关，尺寸效应显著，而比热容则与体材质相差不大。

关键词：薄膜物理 氮硅薄膜 微尺度传热 热物性参数 导热系数 

单位：北京航空航天大学航空科学与工程学院，北京100083