摘要：借助简单的有阻尼受迫振子模型，研究了原子力显微术轻敲模式中探针与样品接触时间tc、样品的表面形变Dz和相位衬度对探针设置高度z，及样品杨氏模量Es的依赖关系．结果发现，tc与Dz均随Es及xc的增大而减小，同时探针与样品作用过程伴随很小的能量耗散．对轻敲过程中相移量φ的研究表明，Es较大的样品有较小的φ，且φ随zc的变化比Es较小的样品明显．实验观察表明本模型及其计算结果可以较好地解释相位像中的相位衬度．

关键词：原子力显微术 轻敲模式 相位衬度 探针样品 阻尼受迫振子模型 

单位：中国科学技术大学物理系，合肥230026; 中国科学技术大学结构分析实验室，合肥230026