摘要：利用蒙特卡罗方法模拟氩气直流辉光放电鞘层内离子的运动过程．模拟基于离子与中性原子的电荷转移和弹性散射两种主要的散射过程，考虑了碰撞截面与能量相关和不相关两种情况，在弹性散射中采用了势场相互作用模型和刚性球碰撞两种模型．通过模拟得到不同气压和不同放电电压下离子入射阴极的能量分布和角度分布，并对几种模型的模拟结果进行了比较和讨论．

关键词：蒙特卡罗模拟 辉光放电 等离子体鞘层 离子输运 电荷转移 

单位：合肥工业大学理学院，合肥230009