摘要：采用光线追踪和光路函数的方法，优化设计了具有超环面镜的前置光学系统的掠入射软x射线平场谱仪，得到了谱仪的谱分辨和空间分辨本领．波前像差理论和光线追踪程序得到结果均表明，优化设计后的软x射线平场谱仪系统在波长为4—45nm的光谱范围内具有很好谱分辨能力(λ／△A>1000)和空间分辨能力(优于40μm)．

关键词：软x射线平场谱仪 光路函数 光线追踪 谱分辨 空间分辨 

单位：中国科学院物理研究所光物理实验室，北京100080