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超短脉冲激光照射下氧化铝的烧蚀机理

李晓溪; 贾天卿; 冯东海; 徐至展 物理学报 2004年第07期

摘要:利用烧蚀面积与激光脉冲能量的线性关系,确定了氧化铝的破坏阈值,同时采用散射光探测法,研究了800和400nm超短脉冲激光作用下氧化铝的破坏阈值对激光脉宽的依赖关系,并探讨了氧化铝的烧蚀规律.利用雪崩击穿模型,解释了实验结果,并讨论了导带电子光吸收机理.

关键词:氧化铝飞秒激光破坏阈值雪崩模型烧蚀机理

单位:中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800

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