摘要：研究了曲面拟合法对特定抛物和双曲近柱面检测中波前像差的处理过程,结果表明,对振幅为0.1λ的中频正弦型面形,由曲面拟合法得到的结果与该正弦型面形之差的RMS值分别可以达到0.015λ(8.25nm)和0.013λ(7.15nm).通过分析拟合阶数对精度的影响,确认存在一个特殊的阶数n.、它使曲面拟合法的精度达到最高;讨论了估计n.值的方法,得到了和n.真实值完全符合的估计值,表明这些方法是行之有效的.

关键词：曲面拟合法 问题研究 精度 面形检测 中频 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 长春; 130033; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 长春; 130033