摘要：在650 nm波长半导体激光器的基础上制造出了高输出功率的微小孔径激光器.驱动电流为25 mA时,输出功率达到0.4mW,最大功率可达1 mW以上.叙述了微小孔径激光器的特殊的制造工艺,并分析了器件可能的失效机理.

关键词：近场光学 微小孔径激光器 半导体激光器 失效分析 

单位：中国科学院半导体研究所; 北京; 100083; 中国科学院半导体研究所; 北京; 100083; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 复旦大学材料科学系; 上海; 200433; 北京大学物理系; 北京; 100871