摘要：给出了3ω法测试系统中描述薄膜表面加热／测温膜中温度波动的级数形式解，并将复数温度波动的实部和虚部分开表示．利用该解分析了交流加热频率、加热膜宽度和材料热物性的组合参数对加热膜温度波动幅度的影响．并根据此解对测量原理的数学模型进行了修正，建立了相应的3ω测试系统。首先测定了厚度为500nm SiO2薄膜的导热系数，验证了实验系统的合理性．加大了测试频率，利用级数模型在高频段直接得到SiO2薄膜的导热系数，结合低频段的数据同时确定了Si基体的导热系数．利用级数解分析测试了激光晶体Nd：YAG（111）面上多层ZrO2／SiO2增透膜的导热系数，测试的ZrO2薄膜的导热系数比体材料小．进行了不确定度分析．结果表明，提出的分析方法可以有效研究微器件表面薄膜结构的导热性能．

关键词：导热系数 微尺度加热膜 

单位：中国科学院工程热物理研究所; 北京100080; 中国科学院研究生院; 北京100039; 中国科学院数学与系统科学研究院; 北京100080