摘要：在不同入射角度条件下，研究了60keV的O^＋离子入射孔径分别为50nm和30nm，厚度为10μmAl2O3微孔膜的角分布．实验结果表明离子透射微孔膜时发生了导向效应，随着入射角度的增大，透射于孔径大的微孔膜离子计数下降比较快，透射于孔径小的微孔膜离子计数下降比较缓慢．建立了一个初步的理论模型，对以上现象给出了较好的解释．

关键词：微孔膜 孔径 导向效应 入射角 

单位：兰州大学核科学与技术学院 兰州730000 兰州物理研究所真空低温技术与物理国防科技重点实验室 兰州730000