摘要：基于He泡生长的迁移-合并机理,用Monte Carlo方法模拟了对材料进行等温退火过程中He深度分布的演化,探讨了不同参数对这一演化的影响.研究表明：材料中He泡的初始浓度和尺寸将影响He深度分布的变化,而退火温度则对演化速率起重要作用但对最终的He深度分布影响较小;随着反应的进行,整个系统的演化是逐渐趋缓的.

关键词：he 深度分布 monte carlo模拟 

单位：四川大学原子核科学技术研究所 辐射物理及技术教育部重点实验室 成都610064 四川大学应用物理系 成都610064