摘要：用时域有限差分方法对氧化孔限制型外腔式光子晶体垂直腔面发射激光器（VCSEL）在小氧化孔下氧化孔形状对激光器模式特性的影响进行了模拟计算.建立了三维光子晶体面发射激光器光场计算模型,分析了氧化孔形状变化对器件远场特性与频率特性的影响.研究发现,氧化孔形状可影响光子晶体VCSEL的模式特性,尤其是频谱特性.从模场分布的角度可解释为菱形氧化孔的对称性与高阶模的不一致.但随着光子晶体刻蚀深度的增加和氧化孔的增大,这种影响逐渐减小,分析解释了其原因.研究结果为提高光子晶体面发射激光器的性能提供了参考.

关键词：光子晶体 垂直腔面发射激光器 氧化孔 时域有限差分 

单位：光电子技术省部共建教育部重点实验室（北京工业大学） 北京100124