摘要：介绍了单级衍射光栅的发展趋势,从理论上论证了单级衍射光栅的可行性,引入了一种新型衍射光学元件——准正弦反射式单级衍射光栅（QSRG）.它能有效抑制高级衍射,可用于提高光谱系统的信噪比和精度.而通过QSRG的实验结果也验证了此新型色散元件确实具有良好的单级衍射特性,二级及以上的高级衍射被有效地抑制,与理论预测几乎一致.本文的结果可望在反射式光谱测量系统中得到广泛应用.

关键词：单级 准正弦 衍射光栅 反射光谱测量 

单位：长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室 长春130022 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室 北京100029 中国工程物理研究院激光聚变研究中心高温高密度等离子体物理重点实验室 绵阳621900