摘要：高效的磁电加热不仅能够提高电子回旋共振（ECR）等离子体的离子温度，还能改善离子的径向和轴向分布，促进ECR等离子体在化学气相沉积金刚石膜刻蚀中的应用．将磁电加热系统中的圆环电极改进为圆筒电极，研究了圆筒电极对离子磁电加热的影响，对比了圆筒和圆环电极加热离子的区别．结果表明：在同一阳极偏压下，圆筒比圆环电极更有利于提高离子温度，圆筒电极加热时各径向位置的离子温度升高的幅度较大，其中圆筒电极内部的离子温度径向分布差异较大，而圆筒下游的离子温度径向分布比较均匀；磁电加热对离子密度的影响很小；采用圆筒电极加热时，有利于离子向轴向下游的输运，改善了离子的轴向均匀性．

关键词：ecr等离子体 磁电加热 离子温度 

单位：武汉工程大学材料科学与工程学院 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 武汉430073