摘要:采用光学频率梳的高精度绝对距离测量技术在航空航天、科学研究和工业生产等领域都发挥着重要作用.提出一种利用光学频率梳技术,通过检测光强实现绝对距离测量的新方法,研究了光学频率梳发出脉冲的时间相干性,分析了光强与被测距离之间的关系、干涉条纹峰值点位置与被测距离之间的关系.建立了基于Michelson干涉原理的测距系统,通过测量光强信息得到被测距离.以高精度纳米位移平台的位移量作为长度基准进行了绝对测距实验,在每个被测距离点都重复进行了10次实验,将10次实验测得的光强值取平均后用于距离的计算.实验结果表明,该方法可以实现绝对距离测量,在10μm测量范围内,最大误差为47nm.因此,该方法可以应用于大尺寸高精度的绝对距离测量.
关键词:光学频率梳 绝对测距 光强
单位:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072 中国计量科学研究院时间频率计量研究所 北京100013
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社