摘要：研究了铌酸锂波导静态傅里叶变换微光谱仪分辨率的影响因素，并在此基础上提出了一种采用端面反射铌酸锂波导结构提高微光谱仪光谱分辨率的方法。该方法容许在减小铌酸锂波导静态傅里叶变换微光谱仪尺寸的同时，使两干涉臂间最大光程差增大1倍，从而使其光谱分辨率实现倍增。采用商业化铌酸锂波导电光调制器构建了一个傅里叶变换光谱仪原理样机，并对样机在不同波长下的光谱分辨率进行了测量，结果指出对调制器加载端面反射结构后获得的光谱分辨率是加载端面反射结构前的2倍，与理论分析结果完全一致。这种光波导端面反射结构制作工艺简单，易于实现，是一种提高集成光波导静态傅里叶微光谱仪分辨率的有效手段。

关键词：铌酸锂波导 傅里叶变换微光谱仪 光谱分辨率 端面反射 

单位：中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室 北京100190 国民核生化灾害防护国家重点实验室 北京102205