摘要：采用大尺寸矩形石墨靶作为真空阴极电弧源,研制了带状真空电弧磁过滤器.使用法拉第杯和朗缪尔探针对90？弯曲磁过滤器中的带状等离子体出口所在平面的15个区域的离子能量和密度进行了测试;用该带状真空电弧磁过滤器制备了类金刚石膜（diamond-like carbon,DLC）;对相应位置上的类金刚石膜进行了Raman分析和膜厚测量.结果表明：磁过滤器出口所在平面的15个划分区域中离子能量分布接近麦克斯韦分布,离子能量分布与类金刚石膜的结构具有明显的对应特征,离子密度分布与DLC膜膜厚分布相互之间具有相关性。

关键词：离子能量 离子密度 类金刚石膜 拉曼光谱 

单位：北京航空航天大学机械工程及自动化学院材料加工与控制系 北京100191