摘要：氧化物半导体材料因其载流子迁移率高、制各温度低、电学均匀性好、对可见光透明和成本低等优势，被认为是最适合驱动有机发光二极管的薄膜晶体管（TFT）的半导体有源材料之一．目前氧化物TFT已成功地应用在平板显示的驱动背板上．本文从氧化物TFT的历史和发展状况出发，先介绍了氧化物半导体材料及其载流子输运机理，然后详细介绍了氧化物TFT的结构、制备方法以及电学稳定性，接着介绍了近些年来氧化物TFT的应用情况，最后总结了氧化物TFT存在的问题以及今后研究的方向．

关键词：薄膜晶体管 输运机理 制备 稳定性 

单位：华南理工大学; 发光材料与器件国家重点实验室; 广州510640