摘要：将面向资源的着色、赋时Petri网(colored timed resource-oriented Petri net,CTROPN)用于半导体制造业中自动组合装置的建模.CTROPN具有较强的建模能力,能够准确描述自动组合装置的加工过程.借助该模型,对非重入加工过程的初始特性、稳态特性和结束特性进行详细的分析.

关键词：自动组合装置 petri网 建模 非重入过程 

单位：广东工业大学机电工程学院; 广东广州510090