摘要：位置敏感器件(position sensitive detectors,简称PSD)是一种可直接对其光敏面上光斑位置进行检测的光电器件,常用于非接触高精度动态位移监测.PSD器件使用中的一个关键问题是如何克服背景光的干扰,以提高检测的精度和可靠性.根据PSD的原理及特征方程,分析了存在背景光时PSD输出信号是非线性的.提出一种基于神经网络的PSD背景光非线性修正方法.利用神经网络具有逼近任意非线性函数的特点,通过训练使神经网络建立在不同背景光下PSD输出与其标准值之间的非线性映射关系,实现PSD全程跟踪补偿.计算机仿真表明,该方法能有效地消除背景光的影响.

关键词：背景光 psd器件 光电器件 光敏 二维 

单位：沈阳工业大学诊断与控制工程中心; 沈阳; 110023; 哈尔滨商业大学基础部; 哈尔滨; 150076; 东北大学理学院; 沈阳; 110004; 哈尔滨商业大学基础部; 哈尔滨; 150076; 东北大学理学院; 沈阳; 110004