摘要：用原子力显微镜(AFM)纳米压痕方法结合扫描力显微镜技术,表征类金刚石(DLC)膜,金块Au,单晶硅Si的纳米硬度.用能量密度理论解释基于AFM压痕技术测定纳米硬度的机理,给出AFM纳米压痕的能量平衡方程.对DLC膜,金块,单晶硅进行纳米压痕试验,表明在同样载荷下,不同材料的压痕深度是不相同的.DLC膜具有较高的抗压性能,Si其次,Au的抗压性能最低.通过曲线拟合技术,定量给出金块的纳米硬度分析模型:H=(2.83/Df)+2.86.

关键词：纳米硬度 纳米压痕 类金刚石 抗压性能 单晶硅 

单位：江苏大学微纳米技术研究中心; 镇江; 212013; 东华大学机械工程学院; 上海; 200051; 江苏大学微纳米技术研究中心; 镇江; 212013