摘要：为了开发结构简单，抗干扰能力强的纳米测量精度光栅传感器，对基于二次莫尔条纹信号的纳米测量精度光栅传感器的测量原理进行了理论分析，通过仿真计算，其测量分辨力可达到5．40〉（10^10-10m，测量精度可达到纳米级。此外，对指示光栅和标尺光栅不平行时对二次莫尔条纹信号质量的影响进行了理论分析和仿真计算。

关键词：纳米测量 二次莫尔条纹 光栅传感器 仿真 

单位：合肥工业大学仪器仪表学院; 合肥230009; 安徽大学测量与控制工程系; 合肥230039