摘要：标定光纤F-P传感器这种微纳米级位移传感器非常困难。分析常用的微位移技术优缺点，这里提出了一种基于弹性变形原理的工作台的设计方法。建立了工作台位移变形的数学模型，对其产生位移的误差进行了理论分析。在此基础上，实际设计并开发了实验系统，用德国heidenhaiyn光栅位移传感器对光纤F-P传感器进行了标定实验。大量的标定实验证明，该微位移工作台的不确定度为0．1μm。

关键词：标定 工作台 微位移 

单位：重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室; 重庆400044; 重庆市计量技术研究所; 重庆400044