摘要：从片子的生长工艺出发对腐蚀前端的形状进行了研究。提出了应力是产生腐蚀前端三角形的主要原因的推测，并通过退火实验验证了这一推测。在对退火处理影响腐蚀速率机制研究的基础上，得出了不同退火条件对腐蚀速率的影响规律。

关键词：退火 牺牲层 腐蚀形状 腐蚀速率 

单位：浙江大学信息与电子工程系; 杭州310027