摘要：对基于AFM的机器人化纳米操作系统而言，一个关键问题是如何实现纳米操作时探针的高精度驱动与定位。对此，本文基于对压电陶瓷驱动器的迟滞／非线性特性及现有驱动方法的详细分析，提出“基于复现扫描轨迹的驱动方法”来对操作时的驱动器进行驱动；另外，还对管式驱动器弯曲运动所产生的运动学耦合误差、探针悬臂变形所引起的针尖偏移误差进行了定量分析与补偿。采用上述驱动方法及进行误差补偿后，可以大大提高探针的定位精度，从而使纳米操作与装配得以高精度进行。纳米刻画实验验证了该新型驱动方法及误差补偿的有效性。

关键词：驱动器驱动 探针定位 复现扫描轨迹 运动学耦合误差 悬臂变形 

单位：中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室; 沈阳110016