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二维PSD非线性修正技术研究

管炳良; 李星; 王俊 仪器仪表学报 2007年第07期

摘要:本文在总结前人研究成果的基础上,提出适用于非均匀网格的二维PSD离散标定误差修正方法,即改进型双二次插值算法。该算法对双二次插值的系数函数做了修正来适应实际的非均匀网格。测试结果表明经补偿后在PSD中心1mm范围内示值误差小于2μm。同时,该算法具有和MATLAB内置的双调和样条插值相同的补偿精度甚至更高,但是相对更简单。

关键词:二维psd非线性修正改进型双二次插值

单位:中国船舶工业集团公司第六三五四研究所; 九江332000

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