摘要：在很多控制、监测和导航系统中，不仅需要角位移和角速度信息，同时还需要角加速度信息，为了测量角加速度信息，首次提出了一种力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器，采用具有大扭转惯量的扭摆式活动极板作为敏感元件，长方形金属电极板作为电容式变换器，静电力实现力平衡反馈回路，文中介绍了扭摆式硅MEMS角加速度传感器的结构及原理，详细推导出传感器的动力学方程和灵敏度，仿真结果验证了理论模型的正确性，传感器灵敏度达到0．3889V-（r·s^-1）^-1。该传感器具有体积小、质量轻、功耗小、零偏稳定性好、噪声小等优点。

关键词：mems 角加速度传感器 扭摆式 静电力反馈 电容式变换器 

单位：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 北京100083