摘要：通过提出一种光栅光调制器的有源矩阵的驱动方式,分析了有源矩阵光栅光调制器的工作机理和关键指标参数。并且分析指出增大有源矩阵的存储电容值,可以减小由电荷重新分布造成存储电压的降低。有源矩阵的晶体管宽长比和存储电容,影响有源矩阵的保持电压特性和开关速度。结合实际的工艺设计包,利用Cadence软件设计了有源矩阵的版图。设计了有源矩阵与光栅光调制器的单片集成的工艺流程。通过仿真和实验验证了理论分析的正确性,且仿真结果与实验结果基本一致,表明：有源矩阵光栅光调制器可以满足分辨率为1920×1080,帧频30Hz,256级灰度的显示要求。

关键词：微机电系统 光栅光调制器 有源矩阵 单片集成 

单位：重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室 重庆400044 重庆大学光电工程学院 重庆400044