摘要：针对超精密定位系统对定位精度的要求,研究智能PID控制技术,以提高系统的定位精度。研究对象是采用宏/微双伺服驱动系统中由压电陶瓷器件＋柔性铰链构成的两维超精密定位系统。由于压电陶瓷器件＋柔性铰链构成的微动系统具有迟滞、蠕变等强非线性,同时受到宏动系统高加速运行的扰动,常规PID控制难以获得良好控制效果。对此,提出神经网络自适应模糊推理PID位置控制系统,并进行了控制系统结构研究,实验结果表明：智能控制能有效改善系统的控制性能,提高了重复定位精度。

关键词：压电陶瓷器件 模糊逻辑 神经网络 非线性 超精密定位 

单位：机械制造系统工程国家重点实验室西安交通大学精密工程研究所 西安710049