摘要：设计并制作了一种PMMA材料的微流控检测芯片，利用外界气体驱动液体，用于实验样品的分析和检测。芯片的整体尺寸为86mm×60mm×4．5mm，利用精密加工的方法进行加工。采用一种简单实用的溶胶一凝胶改性方法对微通道管路进行亲水处理，实验证明亲水性有明显提高。并分析了亲水性提高的机理。提出一种新的溶剂键合方法，在室温下对芯片进行键合。溶剂为二氯乙烷和无水乙醇按1：1混合的混合液。分析了不同溶液配比、键合时间和键合压力对键合效果的影响。同时，芯片上集成了多个阀，对阀膜材料的选择、粘接工艺进行了研究。

关键词：微流控 检测芯片 亲水性 键合 阀 

单位：中北大学 中国太原030051 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室 中国北京100084 早稻田大学情报生产系统研究院 日本