摘要：通过研究提出了一种新颖的利用微光机电系统技术（MOEMS）制造的光栅平动式光调制器GMLM，它可以利用衍射原理对光进行动态调制，其设计适宜形成二维光调制器阵列。针对GMLM，分析并给出了其准静态下的吸合电压计算公式。考虑到MEMS器件的尺寸效应，对电容的边缘场效应影响不能忽略。文中对GMLM器件的边缘场效应影响因子进行了公式推导，并针对GMLM修正了传统的平行板执行器吸合电压计算公式。实验结果证明，修正后的理论公式可以较好地预测GMLM的吸合电压值，与实际测量值的误差为4．3％。

关键词：光栅平动式光调制器 微光机电系统 吸合电压 边缘场效应 

单位：重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室 重庆400044 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室 重庆400044