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关节臂式坐标测量机测量力误差分析及补偿

罗哉; 刘晖; 田焜; 李冬 仪器仪表学报 2017年第05期

摘要:针对接触测量力对关节臂式坐标测量机(AACMM)测量精度的影响展开研究。对测量力引起的长度测量误差进行理论和实验分析,得到测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形是影响关节臂式坐标测量机测头精度的主要因素。建立了关节臂式坐标测量机测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形的数学模型,并对测量结果进行了测量力误差补偿。实验结果研究表明,测量力引起的误差对接触式关节臂式坐标测量机测量精度影响很大。通过本研究成果,可在很大程度上补偿测量力引起的误差:平均长度测量误差降低82%左右,最大误差降低约47μm,有效地提高了关节臂式坐标测量机的测量精度。

关键词:关节臂式坐标测量机测量力测杆弯曲变形误差补偿

单位:中国计量大学计量测试工程学院; 杭州310018

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