摘要：有机金属化学气相沉积磊晶技术MOCVD（metal organic chemical vapor deposition）设备，是当今世界上生产半导体光电器件和微波器件材料的主要手段。国际上MOCVD设备生产厂家主要来自德、英、美三国，但每台进口设备价格不菲，而且使用过程中的维护和零配件的采购都存在很多的不便，因此，为满足国内巨大生产需求和降低成本的迫切需求，加快MOCVD设备的自主研发进程和尽早实现工业化生产已迫在眉睫。

关键词：mocvd设备 气路改进 流程优化 中科院 半导体光电器件 

单位：