摘要：生产计划调度是制造执行系统的核心。基于半导体制造业生产特点,研究了半导体制造业MES中的生产计划调度问题,给出生产计划调度系统的基本构架。根据客户需求制定生产计划,再细化为车间层可操作的作业计划,确定每台设备上加工安排,通过拟实调度处理动态不确定问题。通过生产计划制定、作业计划生成和拟实调度可以实现半导体制造生产过程平稳进行。

关键词：制造执行系统 计划 调度 半导体制造业 拟实调度 

单位：杭州电子科技大学自动化学院 浙江杭州310018