摘要：根据目前微观性测量单元MIMU中硅微机械陀螺仪和加速度计的主要技术性能及A／D转换技术的现状，提出了基于高集成度、低功耗和6通道16位逐次逼近型ADC的电压输出实时数据采集系统。介绍了为提高系统应用性能而采取的技术措施，并通过实际测试证实了这些措施的必要性和有效性。实验表明，此数据采集系统测出的零位稳定性和标度因数等性能指标与用Agilent六位半34401A数字万用表测出的结果一致，满足设计要求。

关键词：微观性测量单元 微机电系统 硅微陀螺仪 硅微加速度计 数据采集系统 

单位：南京理工大学机械工程学院 江苏南京210094