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量块双频激光干涉坐标测量系统的设计

姜志华 魏勇 自动化仪表 2012年第07期

摘要:目前,对于尺寸小于300mm的四等及以下的非标称尺寸量块可以采用高精度万能测长仪测量,而对于尺寸大于300mm的三等及以下非标称尺寸量块,则没有很好的测量方法。为此,提出了基于坐标测量机的双频激光干涉量块检定系统,对700mm三等量块进行测量并对校准系统进行不确定度分析。通过与量块附带检定证书和JJG146-2003量块检定规程的比对,验证了量块检定系统的准确性与可靠性。

单位:上海市计量测试技术研究院 上海201203 上海大学机电工程与自动化学院 上海200072

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