摘要：针对半导体温控系统大时间常数、时滞较大且易受参数扰动影响的问题,提出了自抗扰控制（ADRC）技术。针对自抗扰控制器待调节参数多、参数整定较为困难的问题,从fal函数特性及扩展状态观测器（ESO）设计出发,确定了自抗扰控制器的参数,并探讨了如何准确估计建模误差与外扰。仿真试验表明,系统在半导体致冷器件优值系数、冷热端温差发生变化及受到电压纹波干扰时均具有良好的鲁棒性能和动态性能。

关键词：半导体温控系统 自抗扰 参数扰动 参数设置 eso 

单位：广东石油化工学院自动化系 广东茂名525000