摘要：以磁控溅射节能窗膜镀膜生产线的自动控制为主要研究对象,在深入分析生产线的镀膜工艺后,针对该生产线结构庞大、工艺复杂、控制参数众多等特点,设计了一个采用西门子S7-400为控制器的镀膜生产线监控系统。介绍了该监控系统的硬件配置和各子系统的控制策略及特点,并给出了其中薄膜卷绕控制系统的数学模型;最后采用模块化的设计思想对该系统进行了软件平台选择和程序功能分析。

关键词：磁控溅射 真空镀膜 自动控制 plc 监控系统 

单位：山东建筑大学信息与电气工程学院 山东济南250101 山东省智能建筑技术重点实验室 山东济南250101