摘要：为提高光刻机掩模台系统的步进扫描品质,进而提高硅片成品质量,提出一种基于S曲线的轨迹规划。对迭代学习控制进行了研究,并针对普通全局迭代算法可能造成系统在特定环节恶化的局限性,采用分段迭代补偿策略,对迭代学习控制器进行分段优化。仿真表明,分段迭代学习控制满足系统的实际需求,可以应用在掩模台系统的调试中。

关键词：光刻机 掩模台 步进扫描 s曲线 分段迭代学习控制 

单位：哈尔滨工业大学航天学院 黑龙江哈尔滨150001