摘要：对压电陶瓷片的布局方式与力系数之间的关系进行了分析,证明了压电陶瓷片粘贴在金属弹性体一阶弯振的波谷位置时其激振效率是最高的.研制了一种新型定子结构的微型柱体超声电机.该电机直径5mm,长30mm,重量4.2g.当驱动电压峰峰值为200V,驱动频率为53kHz时,电机最大转速为350r/min,堵转力矩为2.5×10^-3N.m.因为这种电机结构比较简单紧凑,便于实现进一步的微型化.所以又利用压电陶瓷管为激励元件,研制出直径2mm,长度7mm,重量为0.258g的微型柱体超声电机.在驱动电压峰峰值为60V,驱动频率75kHz时电机的转速为813r/min.文中详细介绍了这2个微型电机的工作原理、结构特点和设计方法.

关键词：微型电机 超声电机 微机电系统 优化设计 模态分析 

单位：南京航空航天大学超声电机研究中心; 江苏省南京市210016