摘要：针对直线超声电机在精密驱动过程中存在较强的非线性、时变性及控制模型复杂等问题，提出了一种基于正态分布理论统计直线超声电机驱动电压与速度／位移关系的方法，结合模糊逻辑控制技术，实现了对直线超声电机精密定位控制。利用宏微驱动控制模式对超声电机驱动的平台进行大行程、高精度定位实验研究，实验结果表明采用所提方法，当行程为5mm时，稳态误差小于5nm，能抑制系统的超调，改善系统动态性能。同时，由于直线超声电机动态保持力非常大，使得系统具有良好的抗扰动能力。

关键词：直线超声电机 定位平台 宏微驱动 大行程 精密定位 

单位：南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室 江苏省南京市210016