摘要：为优化触发真空开关（triggered vacuum switch, TVS）性能，满足脉冲功率技术对开关器件的要求，设计了一种多棒级型激光触发真空开关（multi-electrode laser-triggered vacuum switch, LTVS）。文中详细讨论了外施电压、激光触发能量、开关极性、焦斑能量密度等对开关延迟时间、抖动、时间和最低工作电压等触发特性的影响，提出开关导通是热机制和碰撞电离机制相互作用的假设，并为此类开关的优化设计提供理论依据和参考。实验表明：开关的延迟时间最低可达17ns，抖动最低可达10ns，最低工作电压为60V；开关导通需满足一定的激光触发能量和外施电压要求，在触发能量一定的情况下，焦斑能量密度是影响开关触发特性主要因素；开关极性是影响触发稳定性的主要因素。

关键词：激光触发真空开关 触发能量 延迟时间 抖动时 间 

单位：强电磁工程与新技术国家重点实验室华中科技大学 湖北省武汉市430074