摘要：采用二维加权串行迭代算法(WSI)设计了8台阶的衍射光学元件(DOE)进行激光光束整形，将圆形高斯激光束变换为10μm×10μm的方形均匀焦斑，同时满足了二维激光光束形状的改变及振幅分布均匀化的功能；应用到高密度全息存储中，实现了人射到记录材料上焦斑强度的均匀分布。模拟计算结果表明，转换到均匀区的能量效率达到91．2％，平顶区的不均匀度为4．6％，误差小于0．023％，基本上达到了设计的要求。同时分析了衍射光学元件对人射高斯光束的束腰半径及傅里叶变换透镜焦距的宽容度，还制作出了8台阶量化相位衍射光学元件的三套掩膜板。

关键词：几何光学 衍射光学元件 光束整形 二维加权串行迭代算法 

单位：中国科学院研究生院; 北京100039