摘要：为了提高地震检波器的检测灵敏度,增强其性能可靠性,使其体积微型化,利用集成光学原理设计研制了迈克尔逊干涉芯片,并与光纤-质量块简谐振子、光源、光电探测器制成迈克尔逊干涉型加速度地震检波器,检波器具有灵敏度高、频带宽、重量轻、抗电磁干扰等优点,设计参数相位检测灵敏度△φ/a为1.1×10-2 rad/(m·s-2),测试结果表明,在工作频带O～1065 Hz内,振动与检波器输出信号吻合良好,达到设计要求.

关键词：集成光学 检波器 迈克尔逊干涉 双y分支波导 电光相位调制 

单位：天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室; 天津; 300072; 内蒙古民族大学数学与计算机学院; 内蒙古; 通辽; 028043; 天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室; 天津; 300072