摘要：提出了一种新的光刻机像质参数热漂移原位检测技术(TDFM).详细分析了该技术利用镜像测试标记检测投影物镜最佳焦面热漂移与放大倍率热漂移的基本原理.实验结果表明TDFM技术可同时实现最佳焦面热漂移(FFT)与放大倍率热漂移(MFT)的精确测量.与现有的放大倍率热漂移检测技术相比,该技术有效地解决了放大倍率热漂移技术中放大倍率热漂移受最佳焦面热漂移影响的问题,简化了光刻机像质参数前馈校正的测试过程,测试成本与耗时均减少50%.

关键词：测量 最佳焦面热漂移 放大倍率热漂移 投影物镜 光刻机 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室; 上海; 201800; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室; 上海; 201800