摘要：真空室内金属粒子污染是降低激光薄膜性能的一个重要因素。采用高真空残余气体分析仪，对薄膜沉积过程中的气氛进行分析。发现由黄铜制作的加热灯架在工作时会分解出Zn，在这种条件下沉积薄膜，会使薄膜中掺入金属杂质，导致薄膜激光破坏阈值降低。采用表面分析技术对薄膜的组分进行分析，证实薄膜中锌杂质的存在。激光破坏实验证明，含有锌杂质的薄膜的破坏阈值明显降低。

关键词：薄膜 真空材料 杂质污染 激光损伤阈值 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所; 上海201800