摘要：详细分析了一种基于二维正交光栅衍射的同步移相干涉测量系统的组成结构，包括干涉系统、空间分光部件、偏振移相部件以及图像采集与处理系统。选择了二维正交透射光栅的四个衍射级次的光束作为测试光，理论和实验都证明这种方案具有良好的分光效果；用偏振方向依次改变45°的四片偏振片构成偏振阵列作为移相器件，并根据空间一致性要求，分割得到依次具有90°移相的四幅独立于涉图，获得了较高的移相精度；在幅频积低于100Hzλ的振动环境中，系统测量重复性的峰谷值优于0．02λ，可以用于一般的在线检测和动态测量。

关键词：测量 干涉 抗振技术 同步移相 测量重复性 

单位：南京理工大学电子工程与光电技术学院; 江苏南京210094; 淮阴师范学院; 江苏淮安223001